时 间：2019年9月24日（周二）下午2点

地 点：计算机科学与技术学院六楼会议室

题 目：硅基电容式压力传感器的优化以及柔性压力传感器的设计与制备

传感器技术是21世纪各国高技术发展战略重点和相互竞争的制高点，也是我国应对国外封锁的关键技术之一，其创新和升级是信息技术发展的重要基础。我国传感器科技发展水平，特别是关键核心技术的创新能力，同国际先进水平相比还有很大的差距。现阶段我国市场主要应用传感器的核心部件绝大部分仍要依赖于进口，主流产品依赖国外配套的情况尤为突出。因此，需要研制具有自主知识产权，产业优势突出的专业传感器产品。压力传感器是应用十分广泛的传感器类型之一，被用于汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域。在我国，传统的MEMS硅压阻式压力传感器的应用目前虽占主流，但是随着物联网和智能技术的兴起，它们已经不能满足最新的应用需求。一方面，传感器节点密集化以及电池更换成本的提高使得传感器功耗问题成为关注的焦点，硅压阻式压力传感器的高功耗特征使其在物联网应用中不具优势，而电容式压力传感器因其低功耗的优势受到越来越多的关注。另一方面，越来越多的特殊信号和特殊环境要求传感器具有透明、可自由弯曲甚至折叠以及可穿戴等特性。针对以上应用需求，本团队目前的主要研究内容主要包括两个方面：一、研制硅基电容式压力传感器并对其普遍存在的非线性问题进行优化设计；二、研制高性能低成本的柔性电容式压力传感器。

个人简介：余辉洋，博士，毕业于东南大学电子科学与工程学院。主要研究方向是MEMS压力传感器和柔性压力传感器的设计与制备。

发布：计算机科学与技术学院，审核：刘学军